產品簡介
真空濺射鍍膜電源具有超高的準確性、高精確度、高穩定性等優良的電子特性，配備強大的打弧管理系統，能有效抑制靶材弧光放電,打弧檢測時間小于3微秒。輸出電壓可以隨不同的靶材變化，具有極佳的負載匹配能力。該電源是專業用于真空濺射鍍膜的電源設備，輸出電壓及電流獨立可調，恒壓恒流自動轉換，電源具備極其優越的抗打火短路性能。
產品特點
.自動穩流功能，可在電網電壓和負載大幅度變化的情況下保證電源高效穩定的工作，充分保證鍍膜工藝的重復性，精確控制膜厚和減少靶材用量
.針對新靶清洗時存在的頻繁打火現象，設計了抑制打火自動保護功能，既保證了靶面清潔的工藝的穩定性，又提高了靶面清潔的速度。
.具有電壓陡降特性，可充分滿足磁控濺射的特殊要求
.冗余技術:在配置冗余機器設備的狀況下可以隨時任意切斷任何一臺或一組單機而不影響整個電源系統的穩定運行。
.模塊設計：本電源系統采用模塊化設計,安裝簡單、維護方便
.過壓保護.過流保護.過載保護.過熱保護.電網保護.浪涌保護
.穩壓穩流：電壓電流值均可從近似零至額定值連續可調，穩壓穩流自動轉換。
.智能控制： RS232/RS485串行通信標準配置. 模擬控制:用0-5V或4-20mA信號控制電源
性能特點:電壓0—1200V,功率0—500KW
.智能控制： RS232/RS485串行通信標準配置. 模擬控制:用0-5V或4-20mA信號控制電源
規格
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電壓
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功率
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800V
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35KW
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800V
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100KW
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1000V
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35KW
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1000V
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100KW
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1200V
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35KW
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1200V
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100KW
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